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8英寸半導體級單晶硅片實現“山東造” 直拉硅單晶在德州拉制成功
文章來源:大眾日報     更新時間:2020-09-04 14:07:05

 在國內半導體材料領域創造多個“第一”的“國家隊”——有研半導體材料有限公司,在落戶德州經濟技術開發區建設生產基地后,日前又創造了山東省的“第一”:全省首根集成電路用8英寸直拉硅單晶拉制成功,該尺寸半導體級單晶硅片實現了“山東制造”。這是山東省集成電路產業的一項重要突破,也標志著這一在2019年省重點項目名單中位列第一的新舊動能轉換重大項目取得重要進展,即將進入量產階段。據介紹,拉制成的單晶硅棒經過處理后,再經過切片、倒角、研磨、測試、貼片、拋光、清洗、測試、封裝等多道程序制成硅片,將成為集成電路產業鏈中重要的基礎材料。

 

有研半導體材料有限公司是央企有研集團(原北京有色金屬研究總院)旗下核心企業,分別于1992年、1995年、1997年、2002年制成國內第一根直徑6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅單晶,在國內率先實現了8英寸硅片的規模化生產。山東有研半導體材料有限公司集成電路用大尺寸硅材料規模化生產項目承接北京高新技術產業轉移,一期項目總投資18億元,該項目2018年6月在“央企助力山東新舊動能轉換座談會上”簽訂戰略合作協議,2019年3月動工,建設包括年產276萬片8英寸硅片、180萬片6英寸硅片、300噸12英寸-18英寸大直徑硅單晶生產線。二期12英寸集成電路用大硅片項目也在積極籌備,計劃明年開工建設。(張海峰 賀瑩瑩 通訊員 趙慶川 報道)

 
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