中化新網(wǎng)訊 2022年12月底,由上海化工研究院領(lǐng)銜研發(fā)的1000千克/年電子級高豐度硼-11同位素生產(chǎn)工藝在山東合益氣體股份有限公司應(yīng)用成功,獲得豐度在99.9%以上的三氟化硼-11產(chǎn)品。
該項目采用苯甲醚化學(xué)交換法生產(chǎn)硼-11同位素,是上海化工研究院繼同位素氫-2、氮-15、氖-22、氧-18、碳-13等成功開發(fā)并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化后的又一個同位素產(chǎn)品,標(biāo)志著上海化工研究院精密精餾技術(shù)在同位素分離領(lǐng)域又一次實現(xiàn)重要突破。 上海化工研究院與山東合益氣體股份有限公司于2020年1月簽訂合作協(xié)議,開展該項目的科研攻關(guān);2021年9月完成中試;2022年3月啟動生產(chǎn)裝置建設(shè);022年10月進入試生產(chǎn)階段,實現(xiàn)一次性開車成功,項目裝置的各關(guān)鍵工藝參數(shù)均達到指標(biāo)。目前,項目團隊正在圍繞提高產(chǎn)品品質(zhì)、發(fā)揮裝置產(chǎn)能等開展進一步的優(yōu)化提升,為規(guī)模化生產(chǎn)夯實基礎(chǔ)。 據(jù)悉,高豐度三氟化硼-11是高端芯片、面板等制造中重要的特種氣體材料,與普通豐度三氟化硼摻雜相比,可以顯著提升芯片的穩(wěn)定性和抗干擾能力,應(yīng)用于通訊、航空航天等領(lǐng)域。在上海化工研究院實現(xiàn)技術(shù)突破之前,全球僅美國和格魯吉亞擁有3套該產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置,我國相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品完全依賴進口。
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