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 三甲基鎵是制備半導體材料的核心基礎材料之一，是MO源產品的一種，是其中應用最為廣泛的產品類型。

三甲基鎵，可簡寫為TMG或TMGa，分子式為C3H9Ga，常溫常壓下外觀為無色透明液體狀，有毒性。三甲基鎵遇水以及含有活性氫的醇類、酸類可發生劇烈反應，可與脂肪族飽和烴、芳香族烴任意比例混溶。三甲基鎵在空氣中可氧化，室溫條件下可自然，高溫條件下易分解。高純三甲基鎵是合成半導體材料的重要基礎材料，是MO源產品之一，在電子信息產業中應用廣泛。

三甲基鎵制備方法主要有：以碘化甲基鎂、三氯化鎵為原料，經反應生成三甲基鎵醚絡合物，再經蒸餾、分離、精餾、提純等工藝制得成品；以三甲基鋁、三氯化鎵為原料，反應得到粗品，再經蒸餾、提純等工藝制得成品；以高純鎵鎂合金為原料，添加醚類溶劑，在氬氣存在下緩慢攪拌，加入鹵代烷進行反應，再經減壓、蒸餾、分離等工藝制得成品。

根據新思界產業研究中心發布的《2021－2025年三甲基鎵行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，三甲基鎵可應用于金屬有機物化學氣相沉積技術、金屬有機物化學束外延技術領域，用來制備氮化鎵、砷化鎵、砷鎵鋁等半導體材料。三甲基鎵是制備半導體材料的核心基礎材料之一，是MO源產品的一種，是其中應用最為廣泛的產品類型。三甲基鎵可以廣泛應用在集成電路、液晶顯示、LED照明、傳感器、激光器、光伏電池等行業中。

受益于下游集成電路、LED、光伏等產業蓬勃發展拉動，全球三甲基鎵需求不斷增長。高純三甲基鎵產品純度需達到99．9999％（6N）水平，對生產企業的技術實力要求高，全球具有量產能力的企業數量較少，主要是中國南大光電、荷蘭阿克蘇諾貝爾、德國默克、美國陶氏等。全球高純三甲基鎵行業集中度較高。

南大光電是我國MO源行業中的領先企業，三甲基鎵是其主要產品類型，公司具備99．9999％三甲基鎵批量供貨能力，并具有99．99995％三甲基鎵生產實力，在全球范圍內同樣處于先進水平。2019年，南大光電MO源產品銷售收入為1．06億元，其中，三甲基鎵收入為0．51億元。2020年，南大光電實現營業收入5．95億元，同比增長85．13％。

新思界行業分析人士表示，三甲基鎵是MO源產品中應用最為廣泛的產品類型，在金屬有機化學氣相沉積領域需求量大，可以廣泛應用在集成電路、LED、光伏、傳感器等行業中。高純三甲基鎵技術壁壘高，全球生產企業數量較少，南大光電是我國三甲基鎵行業中的領先企業，在全球市場中競爭力強。我國集成電路、LED等行業呈現良好發展態勢，利好我國三甲基鎵行業發展。