新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功
文章來源：證券時報網 更新時間：2020-12-28 14:50:51
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證券時報e公司訊，由西安理工大學和西安奕斯偉硅片技術有限公司共同研制的國內首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備日前在西安實現一次試產成功。據悉，大尺寸半導體硅單晶材料是制約我國集成電路產業發展的“卡脖子”問題。在該領域實現突破，對滿足我國集成電路產業發展意義重大。(經濟日報) |
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