金剛石以其硬度而聞名,其工業應用通常是切割,鉆孔或磨削。但它不僅是自然界中最堅硬的的材料,它還出人意料同時擁有超高的導熱性、介電擊穿強度、載流子遷移率以及超寬的帶隙。得益于這些優異的特性,金剛石被稱為電子材料的“珠穆拉瑪峰”,并且在光電應用的方向上被寄予厚望。但也是因為超大的能帶間隙和緊密的晶體結構,金剛石難以“摻雜”(調節半導體電子特性的常用方法),想要“登頂珠峰”——將金剛石在光電器件中工業化應用仍是困難重重。對于難以摻雜的材料,有一種潛在的解決方法是通過施加巨大的晶格應變,以改變電子能帶結構和相關性質。但是因為金剛石極高的硬度,這種方法一度被認為是無效的。
直到2018年,香港城市大學陸洋博士和他的合作者首次發現,納米級的金剛石可以發生超大的彈性應變,局部拉伸彈性應變達到9%甚至更高。這一驚人發現表明,通過彈性應變工程(ESE)改變金剛石的物理性質是可能的。
2020年1月1日,香港城市大學陸洋教授、Alice Hu團隊和哈爾濱工業大學朱嘉琦教授、麻省理工學院李巨教授合作,首次通過納米力學方法,展示了微晶金剛石陣列均勻的深彈性應變。超大的、高度可控的彈性應變可以從根本上改變金剛石的能帶結構,通過計算帶隙減少多達2eV。這項發現表明通過精細加工鉆石結構的深度彈性應變工程,使得可拉伸金剛石有望用于下一代微電子學、光子學和量子信息技術。該工作以“Achieving large uniform tensile elasticity in microfabricated diamond”發表在《Science》上。
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均勻的拉伸應變
![]() ![]() Figure1. 沿[101]方向的裝卸拉伸實驗
該團隊首先從固體金剛石單晶中細微加工了單晶金剛石樣品。這些樣品呈橋狀,大約一微米長,300納米寬,兩端更寬,便于夾持。在連續可控加卸載的定量拉伸試驗循環下,金剛石橋在整個截面上表現出高度均勻的超大彈性變形(約7.5%的應變),而不是在彎曲的局部區域變形。卸載后,它們完全恢復了原來的形狀。通過使用美國材料試驗學會(ASTM)標準進一步優化樣品幾何形狀,最終獲得了高達9.7%的最大均勻拉伸應變,甚至超過了2018年研究中的最大局部值,并接近金剛石理論上的彈性極限。為了演示應變金剛石作為器件的可行性,作者還微加工了金剛石橋陣列,陣列在均勻的應變到5.8%后也能完全恢復為最初的形狀,通過有限元分析也確認了金剛石陣列中的均勻彈性應變分布。
通過彈性應變調整帶隙
![]() Figure 2.[100],[101]和[111]取向金剛石的統計拉伸結果
作者匯總了[100],[101]和[111]取向金剛石樣品的所有抗拉強度的實驗數據,實驗證明樣品在3個不同方向上均能達到6.5 ~ 8.2%的樣品寬彈性應變,且恢復完全。隨著實驗接近10%的均勻彈性應變,作者進行了密度泛函計算(DFT),以評估從0到12%的彈性應變對于金剛石的電子特性的影響。模擬結果表明,金剛石的帶隙一般隨著拉伸應變的增加而減小,在9%左右的應變下,沿特定晶體取向的禁帶寬度最多可以從5 eV左右減小到3 eV左右。作者還對樣品進行了電子能量損失光譜分析,進一步證實了這種帶隙減小的趨勢。
大而均勻的彈性應變應該驅動帶隙的變化,與其他兩個方向相比,沿[101]方向的應變會引起更大的帶隙減小。經過更深入的計算,沿[111]方向的拉伸應變大于9%時,間接帶隙會轉變為直接帶隙,這意味著電子躍遷時不需要釋放或吸收聲子,使用這種材料的光電器件會有更高的效率。
總結
這些發現是實現微加工金剛石深度彈性應變工程的早期步驟。通過納米力學方法,作者證明了金剛石的能帶結構可以改變,更重要的是,這些改變可以是連續和可逆的。微米尺寸的單晶金剛石橋結構非常適合機電系統(MEMS/NEMS)、應變工程晶體管,以及新穎的光電和量子器件陣列的規模。陸洋教授說:“我相信鉆石的新時代就在我們面前。” |