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我國研制出新型光學(xué)晶體:可滿足晶圓檢測需求
文章來源:快科技     更新時間:2023-07-17 15:54:06
快科技7月14日消息,中國科學(xué)院成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體,可以實現(xiàn)整個透光范圍內(nèi)的激光輸出,滿足我國半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

據(jù)了解,非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長激光的物質(zhì)條件和源頭。在晶體中實現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一,決定最終激光輸出的功率和效率。

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其中,利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補相位失配的有效途徑。

研究結(jié)果表明,全波段相位匹配晶體寬的相位匹配波長范圍,使非線性光學(xué)晶體透光范圍得到充分應(yīng)用,可實現(xiàn)1064納米激光器二、三、四、五倍頻高效、大能量輸出,有望滿足半導(dǎo)體晶圓檢測等領(lǐng)域的重大需求。

同時,該晶體具有生長容易、成本低、效率高、抗激光損傷等優(yōu)勢,有望成為應(yīng)用于大科學(xué)裝置的新晶體材料。研究者表示,在晶體制備方面,研究團隊已獲中國發(fā)明專利授權(quán),并已向歐洲、美國、日本等提交國際專利申請。

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