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采用藍(lán)寶石大面積生長(zhǎng)2D材料的新工藝
文章來(lái)源:未知     更新時(shí)間:2018-03-06 10:00:31

 受石墨烯卓越特性的啟發(fā),科學(xué)家們?cè)絹?lái)越多地致力于探索其他二維材料,無(wú)論是在自然界中發(fā)現(xiàn)的,還是實(shí)驗(yàn)室中合成的都成了研究的熱點(diǎn)。然而,事實(shí)上大面積生長(zhǎng)高質(zhì)量的結(jié)晶二維材料是一個(gè)重大的挑戰(zhàn)。

 

據(jù)悉,最近,賓夕法尼亞州立大學(xué)和倫塞拉理工學(xué)院的合作成立的研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了一種有效的多步驟工藝,可用于在大面積藍(lán)寶石襯底上制備二烯化鎢單晶薄膜。該團(tuán)隊(duì)由二維晶體聯(lián)合會(huì)材料創(chuàng)新平臺(tái)主任、賓州材料科學(xué)和工程及電氣工程教授瓊•瑞德溫領(lǐng)導(dǎo)。

 

以氣源化學(xué)氣相沉積法在藍(lán)寶石襯底上制備大尺寸的原子狀2D薄膜示意圖
圖像來(lái)源:賓夕法尼亞州立大學(xué),張笑天。

 

Redwing說(shuō):“到目前為止,大多數(shù)2D器件都是用大塊晶體切割出小薄片制造的,然而,要想開(kāi)發(fā)出一種高效的器件制備技術(shù),你必須能夠在大面積襯底上制造器件,而且它們必須具有良好的性能。”

 

該團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)的這種新工藝是一種以藍(lán)寶石為襯底進(jìn)行外延生長(zhǎng),藍(lán)寶石的晶體結(jié)構(gòu)決定了二硒化鎢薄膜的生長(zhǎng)方向,從而形成了一種特殊的晶體形態(tài)。最初,襯底上形成了二烯化鎢的小島嶼。當(dāng)襯底加熱時(shí),這些島以均勻的方式分布在基片上,形成一種無(wú)間隙的大面積薄膜。這一工藝的關(guān)鍵步驟是利用氣源化學(xué)氣相沉積精確控制島密度和擴(kuò)散速率,實(shí)現(xiàn)了二維材料的單層化。

 

Redwing和她的團(tuán)隊(duì)將她們的成果發(fā)表于雜志Nano Letters。而另一篇與其相近發(fā)表在雜志ACS Nano上的論文(由賓夕法尼亞州立大學(xué)材料科學(xué)與工程副教授Joshua Robinson領(lǐng)導(dǎo)的一個(gè)研究小組發(fā)表),為未來(lái)的工業(yè)規(guī)模電子學(xué),基于外延大面積薄膜的器件制備合成2D半導(dǎo)體,提供了概念性的解釋。

 

Robinson說(shuō):“我們這項(xiàng)工作的主要意義在于,能夠讓人們理解獲得高質(zhì)量2D材料的外在因素;我們發(fā)現(xiàn),即使你能夠在表面生長(zhǎng)定向晶體,也有其他因素影響其電子遷移率或晶體管的靈敏度。”尤其值得關(guān)注的是,我們發(fā)現(xiàn)藍(lán)寶石基片和單層膜之間有著強(qiáng)烈的相互作用,基片主導(dǎo)了薄膜的性能。為了克服這些問(wèn)題,研究人員制備了兩到三層的薄膜,這使得薄膜中電子的遷移率提高了20到100倍。這是第一次真正證明襯底對(duì)2D層的傳輸特性的影響。”

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